電子特種氣體種類多,應(yīng)用領(lǐng)域廣泛。 電子特種氣體在半導(dǎo)體整個制程應(yīng)用中成本占比僅為 5%~6%,但是由于其品種繁多,在半導(dǎo)體制程工藝中覆蓋廣泛,因此成為衡量半導(dǎo)體技術(shù)的核心產(chǎn)品。為了提高氣體穩(wěn)定性和保質(zhì)期,天然1氣公司已經(jīng)開發(fā)出各種技術(shù),以化任何局部活性位點在鋁氣瓶中催化表面的潛在效力,然后再填充特種氣體。特種氣體興起于60年代中期,作為基礎(chǔ)化工材料,主要運用于大型石油化工、半導(dǎo)體器件、光導(dǎo)纖維、激光、臨床診斷、水果催熟、食品保鮮等領(lǐng)域。隨著新產(chǎn)品技術(shù)的發(fā)展,其應(yīng)用范圍也越來越廣泛。






電子工業(yè)是當今推動科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高,為有別于其它領(lǐng)域應(yīng)用的氣體,人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體。有氣體倉庫貯存。氣瓶倉庫應(yīng)通風(fēng)干燥、清潔, 避免陽光直射, 氣瓶庫應(yīng)清楚明“氣瓶貯存”字樣, 顯示適當?shù)奈kU標記(例如、、有毒等) 。 特種氣體(Specialtygases) 氣體工業(yè)名詞,是指那些在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的,對氣體有特殊要求的純氣,高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。

特種氣體指半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)節(jié)中,比如延伸、離子注進、摻和、洗滌、 遮掩膜形成過程中使用到一些化學(xué)氣體,也就是氣體類別中的電子氣體,特種氣體的儲存注意事項:儲存高壓氣體≥300m,液化氣≥3000kgs時,儲存場所需要經(jīng)過縣級以上相關(guān)單位批準。高壓容器儲存場所出入口及顯眼處,需設(shè)有安全警示牌。特種氣體種類:廣義的“電子氣體”指可用于電子工業(yè)生產(chǎn)中使用的氣體,是重要原材料之一, 狹義的“電子氣體”特指可用于電子半導(dǎo)體領(lǐng)域生產(chǎn)的特種氣體。

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